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LED製程化學清洗設備操作安全性研究 = The study of safety operation for wet bench in LED process / 張承明,王子奇計畫主持

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國內LED產業之化學清洗設備(wet bench)無論在採購、操作以及維護保養等情況與一般半導體與光電產業之wet bench均有所差異，本計畫針對LED產業使用之wet bench實施危害分析及使用安全性調查，主要目的在於提供該產業在採購、維修保養等查核基準。 研究主要成果如下：(1) 針對國內LED產業蒐集相關職災案例共15件，並進行災因分析；(2) 針對國內LED產業6個廠進行wet ben

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